抓取运动的物件)情况,决定了手指是的大小、形状、个数、种类配置和动作,而这些又决定了手指的抓取机能(即该手指能抓取的极限尺寸;手指对物件的约束和握紧程度;抓取精度-定位精度等)。2、手指的种类机械手的手指有机械式和吸盘式两种形式。人手抓取物件时,手指常与手掌相对握紧。机械式手指没有手掌,全靠手指握紧物件;而吸盘式手指则刚好相当于只有手掌吸附物件。机械式手指的应用比较。机械式手指常按指根的动作及手指的数目或手指的形状进行分类。(1)按指根的动作不同分类回转型手指:手指的张开与闭合是靠指根的回转动作完成的。无关节手指的本体是一个直构件;固定关节指的本体是一个弯构件,即在指的中间处形成一个“V”形关节角;而自由关节指的本体在中间分开,指根与指尖是由铰链连接的。直进型手指:手指的张开与闭合是靠手指的直接动作完成的。这种手指也可分为无关节指和自由关节指。有时还把无关节指、固定关节指、自由关节指相互组合而成为混合手指。(2)按手指抓取部分的形状分类有圆弧形的、锯齿形的、钩形的和平板形的等等。3、典型表面与手指的接触状态虽然被抓取物件的形状和尺寸是多种多样的,但是从抓取的角度来看。雨花台区牛皮袋气动悬臂吊推荐厂家!滨湖区工业气动悬臂吊原理
绞索600通过上述螺栓旋紧的方式两端分别连接于塔架100和滑道,当然因为绞索600的拉力要克服滑道的重力,绞索600与塔架100的连接点应高于绞索600与滑道的连接点。铰接组件130包括:铰轴133、第1接头部131和第二接头部132,第1接头部131和第二接头部132同轴铰接于铰轴133。第1滑道200的底端和第二滑道300的顶端分别安装于第1接头部131和第二接头部132,借助第1接头部131与第二接头部132的铰接关系,可带动第1滑道200和第二滑道300进行倾角的调整。并且所属领域技术人员应当注意,因为滑道的角度调整问题,在设计第1滑道200和第二滑道300对接点时,应当考虑滑道的侧壁不能因滑道的角度调整而出现缝隙,也不能阻碍滑道的角度调整。对此,本实施例采用一种结构简单的对接方法,使第二滑道300的内径略微大于第1滑道200的内径,让第1滑道200的下端头搭接于第二滑道300上端头内。此外为了满足食品安全要求,对第1滑道200和第二滑道300以及塔架100的材料采用316l,同时对铰接组件130采用满足食品卫生标准的润滑油。通过铰接组件130对第1滑道200和第二滑道300进行连接,采用绞索600的拉力固定滑道的位置,可控制绞索的长度110进而控制滑道的倾角。滨湖区工业气动悬臂吊原理浦口区米袋气动悬臂吊推荐厂家!
自所述电路基板的法线方向观察时,隔着所述第1电力电路所包含的电子元器件的配置位置在所述第1通孔的相反侧存在所述控制电路所包含的电子元器件的配置位置。由此,能够使自第1电力电路到达电动马达的电流路径远离控制电路。作为理想的技术方案,所述第2线圈布线的所述第2部位自比所述第2电力电路所包含的电子元器件靠近所述电路基板的外周的位置连接于所述第2电力电路。由此,能够使第2线圈布线远离磁传感器,能够抑制因电流在第2线圈布线中流动而产生的磁场对磁传感器造成的影响。作为理想的技术方案,所述电路基板具有与所述第2线圈布线的所述第2部位相连接的第2通孔,自所述电路基板的法线方向观察时,在所述检测电路的配置位置与所述第2通孔之间存在所述第2电力电路所包含的电子元器件的配置位置。由此,能够使自第2电力电路到达电动马达的电流路径远离磁传感器。隔着所述第2电力电路所包含的电子元器件的配置位置在所述第2通孔的相反侧存在所述控制电路所包含的电子元器件的配置位置。由此,能够使自第2电力电路到达电动马达的电流路径远离控制电路。作为理想的技术方案,还具有配置于所述电路基板的电容器,自所述电路基板的法线方向观察时。
移动夹板6的侧壁上对称贯穿开设有两个螺纹孔,两个转杆17分别与两个螺纹孔相互啮合,固定夹板5的顶壁上同样开设有转槽,转槽内同样设有限位板18,两个转杆17远离移动夹板6的一端贯穿固定夹板5的顶壁并延伸至转槽内,两个转杆17远离移动夹板6的一端分别安装在限位板18的顶壁上,转杆17转动时通过与移动夹板6的啮合可将移动夹板6向固定夹板5处移动,移动夹板6与固定夹板的相互配合可将板材进行夹取,固定夹板5与移动夹板6相对一侧的侧壁上均安装有防滑齿21,防滑齿21可将板材更稳定的进行夹取。本发明中,本发明中,分别将第1电机2和第二电机3接通电源,先将第二电机3进行正转,第二电机3转动时带动第1转盘11转动,第1转盘11通过三角形传动件14可将两个第二转盘12进行转动,同时两个第二转盘12上均安装的转杆17可与移动夹板6进行啮合,因此转杆17转动时可迫使移动夹板6向固定夹板5进行移动,进而在固定夹板5与移动夹板6的相互配合下可对板材进行夹紧,固定夹板5与移动夹板6上安装的防滑齿21可防止板材滑落,增加稳定性,将板材夹紧后,打开第1电机2并将第1电机2进行正转,第1电机2通过驱动端安装的斜齿轮8可将蜗杆9进行旋转。六合区室内深加工气动悬臂吊推荐厂家!
使得助力装置能够适应航天员的各种维修姿势的施力或助力。附图说明为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图只只是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是示意性表示根据本发明第1种实施方式的助力装置的立体图;图2是示意性表示根据本发明第1种实施方式的固定夹持机构的立体图;图3、图4和图5分别是示意性表示根据本发明第1种实施方式的固定夹持机构完全打开状态、未锁定状态和锁定状态的剖视图;图6是示意性表示根据本发明第1种实施方式的长度调整机构的立体图;图7和图8分别是示意性表示根据本发明第1种实施方式的开关机构锁定状态和未锁定状态的剖视图;图9是示意性表示根据本发明第1种实施方式的末端助力机构的立体图;图10是示意性表示根据本发明第1种实施方式的具有锁定功能的万向球头接头结构的剖视图。具体实施方式为了更清楚地说明本发明实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地,下面描述中的附图只只是本发明的一些实施方式。溧水区包装袋气动悬臂吊推荐厂家!闵行区室内深加工气动悬臂吊有几种
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本发明涉及一种半导体制造技术,尤其是一种用于晶圆搬运的机械手。背景技术:在半导体加工设备中,经常需要将晶圆在各个工位之间进行传送,在传送的过程中,传送精度越高,设备工艺一致性就越好,速度越快,单台设备的产能就越大。随着半导体工艺的发展,设备处理的工艺越来越复杂,对设备自动化程度、柔性化程度要求也越来越高,这就需要一种定位精度高,速度快的多自由度的机械手。技术实现要素:本发明针对现有技术中的不足,提供了一种晶圆搬运机械手,本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动,且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力,同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定,维护方便,多功能集一身,可满足多种工艺设备要求,适用于各种半导体设备。为了解决上述技术问题,本发明通过下述技术方案得以解决:一种晶圆搬运机械手,包括升降轴、旋转轴和伸展轴,其特征为,所述的伸展轴包括伸展电机、一级伸展臂、二级伸展臂和手指固定座,所述的一级伸展臂与所述伸展电机之间设置有一级关节,所述的一级伸展臂与所述的二级伸展臂之间设置有二级关节,所述的二级伸展臂和所述的手指固定座之间设置有三级关节。滨湖区工业气动悬臂吊原理
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